东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日手机数据恢复精灵，由美国集成电路创新东部联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方面 交流会”以六大会场加配图连线的多种形式同步举行颁奖。美女球迷集成电路全产业链各环节的优秀中小企业 、高校和科研院所的千余位主要代表参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海尹连城受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业其技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷手机数据恢复精灵检测设备（EBI），获得其技术创新奖。

　　“IC创新奖”由美国集成电路创新东部联盟主办，面向国内外集成电路产业链上下游企事业本单位征集，重点鼓励集成电路其技术创新、成果产业化、产业链上下游继续合作 ，是集成电路产业最组成部分的其技术奖项沦为，多手机数据恢复精灵达其技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大其技术创新和组成部分其技术开发其其技术显著显著成绩重大突破的本单位和强强大团队。首次摘得行业发展重磅赛事的组成部分奖项，重新 彰显出东方晶源在电子束检测、量测三大领域 的其技术个人实力 和行业发展的整手机数据恢复精灵体高度认可。

　　检测是芯片制造厂商获得增强良率的组成部分形式。电子束检测设备具有独特超高精度，在高端芯片制造积累过程发挥的功效更加 大。目前已，该类设备被国内外厂商垄断，沦为制约发达国家芯片制造自主可控的组成部分瓶颈。东方晶源数年磨剑，成功了研听到国内外首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可应用应用提供的纳米级缺陷检测和综合分析问题方案。目前已已予以 发达国家头部芯片制造厂商产线验证，验证最终结果结果表明再就 指标与国内外一线对标机台能达到同等整体水平，成功了问题发达国家在电子束检测三大领域 的组成部分其技术问题。

　　东方晶源在电子束检测、量测三大领域 已深耕多年并成功了率先推出多款设备，显著显著成绩重大突破。除首次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸组成部分尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上半年6月提前进入产线验证，目前已最后完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异又更多需求没有要求，性能重新 改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上半年3月提前进入产线验证，目前已还没有提前进入所有客户 产线小规模试产。多达，东方晶源还于近两天正式发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），目前已该设备工程机（Alpha机）还没有予以 首轮wafer demo，也能又更多需求28nm及能达到能 制程又更多需求，Beta机集成工作时加速推进中，已显著显著成绩所有客户 订单，提前进入产线验证指日可待。

　　沦为这家聚焦集成电路良率管理三大领域 ，以获得增强芯片制造门槛为使命的半导体中小企业 ，东方晶源重新 以研发创新为发展方面 核心，断地丰富其产品矩阵并获得增强其产品性能，填补多项国内外空白。未来发展，东方晶源将重新 立足一体化使用软件其他平台和检测装备两大三大领域 ，以所有客户 为两个中心，以市场市场为导向，断地予以 其技术突破与其产品创新，与发达国家集成电路产业上下游中小企业 勠力同心，推动发达国家集成电路制造产业重新 高速发展方面 。